用語解説

あ 行

• アスペクト比

   半導体デバイス内での、穴や溝などの構造の深さを穴径や溝幅で割った比率。3D NANDデバイスにおいて、メモリーセルや配線層間接続などの形成では、10以上の高いアスペクト比を持つ構造が不可欠となっている。 《使用例》名大発 “G…

• アップタイム率

   機器やシステムが正常に稼働している時間の割合を示す指標。半導体製造における検査・計測プロセスでは、対義語であるダウンタイムと共に歩留まりに直接関わる重要な指標となっている。 《使用例》名大発 “GaN系”技術で半導体製造の重要…

• アニオン交換膜（AEM）

  　正に帯電した固定基（通常は第四級アンモニウム基など）を持ち、OH-などの陰イオンのみを選択的に透過させる高分子膜。 《使用例》1ナノ極薄触媒シートが水の解離を劇的に促進 燃料電池、CO2回収など応用デバイス開発へ重要な一歩…

• 異方性磁気抵抗

  （Anisotropic Magnetoresistance: AMR）強磁性体の磁化の向きと電流方向のなす角度に依存して、電気抵抗が変化する現象。電流方向と磁化方向が平行の時が、電流方向と磁化方向が垂直の時と比べて電気抵抗が大きくなる。磁…

• EELS（イーイーエルエス）

  電子エネルギー損失分光法（Electron Energy Loss Spectroscopy）の略称。物質に電子線を照射し、非弾性散乱によるエネルギー損失を測定することで元素分析や状態分析をする手法。 《使用例》AI解析で“高分子の化学地…

• EDS（イーディーエス）

  エネルギー分散X線分光法（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）の略称。EDXともいう。電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線（蛍光X線）を半導体検出器に導入し、発生した電子-正孔対…

• Mie共鳴

  　誘電体ナノ粒子やナノ構造体へ光を照射した際に粒子内部で起こる光共鳴現象を指す。高屈折率誘電体に照射された光は、その屈折率のため実効的な波長が短くなり、誘電体のサイズがその短くなった波長と同程度の大きさである場合、誘電体内部で光の共鳴が…

• 円偏光

  　光は電磁場であり、電場と磁場が互いに誘起しあいながら存在する。電場には方向があるため、電場のベクトルを定義することができる。電場ベクトルが直線上で振動している光は、直線偏光と呼ばれる。一方で、電場ベクトルが回転して振動している光を円偏…

• RDE（アールディーイー）

  ローテーティングデトネーションエンジン（＝Rotating Detonation Engine）。デトネーションを二重円筒内の底部に周回（回転）し続けるように発生させることで高圧ガスを発生させ、それを円筒の軸方向に噴射し、その反動としての推…