(１) GaNに特化したサブミクロン加工プロセスライン
● 結晶成長から電極形成までアンダーワンルーフでGaNパワーデバイスをスループロセス
● i 線ステッパをはじめとした、サブミクロンに対応した充実した加工設備
● 専任の技術員による運営管理、プロセス受託
● 多様な料金設定による設備共用システム
(２)ターゲットデバイス
● GaN on GaN 縦型パワーデバイス
● GaN 系光デバイス
● AlGaN/GaN 横型HEMT デバイス
● 窒化物半導体 未来デバイス
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