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ナノ加工計測部

微細加工を行うためのクリーンルーム

先端技術共同研究施設に設置されている薄膜作製装置、微細加工装置、分析・計測装置などの共用装置とクリーンルームを利用して、薄膜形成、ナノ材料作製、ナノ加工、評価/計測に関する技術の高度化を図り、高機能デバイス開発に貢献します。