電子顕微鏡（種類）

・透過型電子顕微鏡（TEM）…対象物に電子を透過させて観察する。対象物は厚さ0.1μm以下のもの。

・走査型電子顕微鏡（SEM）…対象物の上に電子線を走らせ（scan）、対象物から出る二次電子の情報から像を描き出す。