透過電子顕微鏡(Transmission Electron Microscopy)の略称.試料に電子ビームを照射し、透過した電子を結像して拡大像を得る装置。細く絞った電子ビームを試料上で走査して、各点からの散乱電子によって結像するTEMを走査TEM(STEM)という。
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Glossary
用語解説
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透過電子顕微鏡(Transmission Electron Microscopy)の略称.試料に電子ビームを照射し、透過した電子を結像して拡大像を得る装置。細く絞った電子ビームを試料上で走査して、各点からの散乱電子によって結像するTEMを走査TEM(STEM)という。