Glossary

た 行

• チップレット

   大規模な半導体チップを複数の小さなチップ（チップレット）に分割し、それらを組み合わせて1つの機能を実現する技術。 《使用例》名大発 “GaN系”技術で半導体製造の重要課題を打開！ キオクシア岩手で検査・計測の基盤技術化プロジェ…

• TEM（ティーイーエム）

  透過電子顕微鏡（Transmission Electron Microscopy）の略称．試料に電子ビームを照射し、透過した電子を結像して拡大像を得る装置。細く絞った電子ビームを試料上で走査して、各点からの散乱電子によって結像するTEMを走…

• デジタルツイン

  コンピュータ内に構築された実際の工程のモデル。 《使用例》半導体の製造プロセスを“一気通貫”で最適化！ ～AI活用により企業の壁を越えスピーディな性能改善に貢献～…

• The kinds of the electron microscope

  Transmission Electron Microscope (TEM): it makes it possible to watch an object by letting electrons go through it. The …

• The magnification of the electron microscope

  Although the optical microscope enables us to observe the wavelength of light, which is about 0.2μm(=200nm), the electro…

• The mechanism of the electron microscope

  When an electric current flows through an electron lens, the latter becomes an electromagnet. The electron microscope us…

• 電子線パルスを用いた最新の構造測定装置

  電子は、波としての性質を持つため、結晶にあたると、結晶中の原子による散乱波が干渉を起こし、回折像が観測される。この回折像を解析することで、結晶構造の情報を得ることが出来る。光励起による構造変化の様子を、試料を励起するパルス光と時間的同期のと…