光照射により電子を放出する機能を持つ半導体材料で構成された電子源。特に、アルカリ金属を表面に原子層レベルに薄く形成されたものでは、半導体のバンドギャップの波長の光で電子放出が可能となる。
《使用例》
名大発 “GaN系”技術で半導体製造の重要課題を打開! キオクシア岩手で検査・計測の基盤技術化プロジェクト始動
Research
Glossary
光照射により電子を放出する機能を持つ半導体材料で構成された電子源。特に、アルカリ金属を表面に原子層レベルに薄く形成されたものでは、半導体のバンドギャップの波長の光で電子放出が可能となる。
《使用例》
名大発 “GaN系”技術で半導体製造の重要課題を打開! キオクシア岩手で検査・計測の基盤技術化プロジェクト始動