| 受賞日 | 2025/8/17 |
|---|---|
| 賞名 | 機能性ナノ界面科学研究会 優秀発表賞 (応用物理学会 薄膜・表面物理分科会 機能性ナノ界面科学研究会 夏の学校2025) |
| 受賞者 | 尾崎 孝太朗(牧原研・M2) |
| 研究課題 | CF4/H2プラズマエッチングによるSiGeSi積層膜からのSiナノシートの形成 |
| 関連HP |
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| 受賞日 | 2025/8/17 |
|---|---|
| 賞名 | 機能性ナノ界面科学研究会 優秀発表賞 (応用物理学会 薄膜・表面物理分科会 機能性ナノ界面科学研究会 夏の学校2025) |
| 受賞者 | 尾崎 孝太朗(牧原研・M2) |
| 研究課題 | CF4/H2プラズマエッチングによるSiGeSi積層膜からのSiナノシートの形成 |
| 関連HP |