EDS（イーディーエス）

エネルギー分散X線分光法（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）の略称。EDXともいう。電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線（蛍光X線）を半導体検出器に導入し、発生した電子-正孔対のエネルギーと個数から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法。