先端技術共同研究施設

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先端技術共同研究施設

先端技術共同研究施設のクリーンルーム等には、分子線エピタキシー、CVD、スパッタリング等の成膜装置、マスクアライナ、電子線描画装置、ICPエッチング装置等の微細加工装置、SEM、 ESCA、原子間力顕微鏡、薄膜X線回折等の分析装置など多くの先端的な機器が設置されており、各種材料の薄膜形成から、マイクロ/ナノ加工、さらに表面分析まで幅広い研究に活用されております。 また、文部科学省の微細加工ナノプラットフォーム事業によるナノ材料・ナノ加工に関する技術支援を推進しており、学内外の多くの研究者に利用されています。

先端技術共同研究施設

先端技術共同研究施設のクリーンルーム

紹介ビデオ

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メンバー
大野 雄高
教授《兼務》
大野 雄高
施設長
岩田 聡
教授《兼務》
中塚 理
教授《兼務》
加藤 剛志
准教授《兼務》
松永 正広
助教
大島 大輝
特任助教《兼務》